Hãng sản xuất: Mahr

Model: MarSurf GD 280 BG 22

Thông số kỹ thuật:

– Độ phân giải: Dải đo 1: 7.6 nm

– Dải đo 2: 0.76 nm

– Điểm bắt đầu chiều dài di chuyển đầu đo (trục X): 0 mm

– Chiều dài đầu đo: 45 mm (x1), 67.5 mm (x1,5), 90 mm (x2), 112.5 mm (x2,5), 135 mm (x3)

– Điểm kết thúc chiều dài di chuyển đầu đo (trục X): 280 mm

600 mm Z-axis

– Có điều chỉnh góc trục X

– Tốc độ định vị: 0.02 – 200 mm/s (trục X)

– Độ lệch: 0.07 µm / 20 mm,0.2 µm /  60 mm,0.4 µm / 140 mm

– Tốc độ đo: lên đến 10 mm/s

– Dải đo: 500 µm (±250 µm) que đo 45 mm

1500 µm (±750 µm) que đo 135 mm